不论是罗卓尼克传感器,还是维萨拉、密析尔的压力传感器都是一种单片压阻器件,该器件具有3类:
1.根本的或未加补偿标定;
2.有标定并停止温度补偿;
3.有标定、补偿和放大。
偏移量、范围标定、温度补偿均能够由薄膜电阻网络完成,该薄膜电阻网络在封装过程采用激光修正。
传感器通常与微控制器分开运用,而微控制器的嵌入软件自身树立了传感器数学模型。微控制器读取了输出电压后,经过模数转换器的变换,该模型能够将电压量转换为压力丈量值。
传感器简单的数学模型即为传送函数。该模型可在整个标定过程中停止优化,并且模型的成熟度将随标定点的增加而增加。
从计量学的角度看,丈量误差具有相当严厉的定义:它表征了丈量压力与实践压力之间的差别。而通常无法直接得到实践压力,但能够经过采用恰当的压力规范加以估量,计量人员通常采用那些精度比被测设备高出至少10倍的仪器作为丈量规范。
由于未经标定的系统只能运用典型的灵活度和偏移值将输出电压转换为压力,测得的压力将误差。
这种未经标定的初始误差由以下几个局部组成:
a.偏移量误差。由于在整个压力范围内垂直偏移坚持恒定,因而变换器扩散和激光调理修正的变化将产生偏移量误差。
b.灵活度误差,产生误差大小与压力成正比。假如设备的灵活度高于典型值,灵活度误差将是压力的递增函数。假如灵活度低于典型值,那么灵活度误差将是压力的递加函数。该误差的产生缘由在于扩散过程的变化。
c.线性误差。这是一个对初始误差影响较小的要素,该误差的产生缘由在于硅片的物理非线性,但关于带放大器的温湿度传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线能够是凹形曲线,也能够是凸形曲线。
d.滞后误差:在大多数情形中,滞后误差完整能够疏忽不计,由于硅片具有很高的机械刚度。普通只需在压力变化很大的情形中思索滞后误差。
徽科特标定可消弭或极大地减小这些误差,而补偿技术通常请求肯定系统实践传送函数的参数,而不是简单的运用典型值。电位计、可调电阻以及其他硬件均可在补偿过程中采用,而软件则能更灵敏地完成这种误差补偿工作。